ULVAC爱发科干式泵LR1200真空泵维修

罗茨泵是配合干泵、油回转泵、水封泵等组合使用，可以提高粗制泵排气速度低下的10kPa-0.1Pa领域的排气速度。

PRC系列是特别为洁净度要求高的半导体、液晶制造使用设计的罗茨泵。可以选择大气驱动型。

专业承接爱发科干式泵维修型号：LR1200   LR1800  LR3600   PRC-003A   PRC-006A   PRC-012A   PRC-018A   

PDR-090C

特点

无油

泵壳室无润滑油，水蒸气、溶剂等的蒸汽稳定。

采用罐式马达

采用罐式马达、可以没有大气压/真空的机械。不用担心漏油、可以在清洁的环境中使用。

耐腐蚀性优异的表面处理

主要部品表面实施了硬度高耐腐蚀性优异的耐酸铝处理、抑制了泵内部的腐蚀伤害。

排气时间缩短有效的大气压驱动型（选项：变换器）

可以和粗制泵同时启动，比标准型的排气时间更短。

用途

蒸着、溅射、离子电镀

真空干燥、冻结干燥、真空脱气

分析机器、检漏装置

气体置换、充填、真空断热

热处理炉、溶解炉

其他各种真空装置

东莞比其尔真空机电设备有限公司主要经营德国(Leybold)莱宝、日本（Orion）好利旺、日本（ULVAC）爱发科、德国

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门、中国台湾（BIKIER）比其尔及进口真空泵配件维修包等，主要配件有：进口真泵油、真空泵、真空泵配件耗材、真空泵

维修保养，

ULVAC爱发科干式泵PDR-090C真空泵维修PRC系列罗茨泵